Unsere Referenzen in der Halbleiterindustrie:
Infineon Technologies Dresden GmbH
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Hausvakuum (HVAC), Prozessabwasser (PAW), Deionisiertes Wasser (DIW), Chemische Dosierung und Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP), Prozesszu- und -fortluft (PFO)
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)- Center Nanoelectronic Technologies (CNT)
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Prozesszu- und -fortluft (PFO), Prozessabwasser (PAW) und Deionisiertes Wasser (DIW)
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) – All Silicon System Integration Dresden (ASSID)
Hook-up für Prozesszu- und -fortluft (PFO), Reinstwasser (UPW), Prozessabwasser (PAW), Prozesskühlwasser (PKW), Deionisiertes Wasser (DIW) und Vakuum (VAC)
Jenoptik AG Dresden
Installation Abluft (PFO)
GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG – Annex
Erweiterungen der Gewerke Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW) und Exhaust (PFO)
Mikroelektronikwerk AMD Saxony Dresden
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Prozesskühlwasser (PCW) und Prozessabwasser (PAW)
Mikroelektronikwerk AMTC GmbH & Co. KG Dresden
Installation der Grundversorgung für Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW), Prozessvakuum (PVAC) und Prozessfortluft (PFO)
X-FAB Dresden GmbH & Co. KG
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Deionisiertes Wasser (DIW), Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW) und Prozessfortluft (PFO)
Freiberger Compound Materials GmbH
Deionisiertes Wasser (DIW) und Chemische Dosierung (Planung und Errichtung einer Chemikaliendosierstation)
Swissbit Germany AG Berlin
Installation VE-Wassersystem
Wacker Siltronic AG Freiberg
Installation einer Staubsauganlage mit Anschluss an die Doppelbodenabsaugung der Maschinenräume
Zentrum für Mikrosysteme und Materialien Berlin
Prozessabwasser (PAW) und Reinstgas
Curamik Electronics GmbH Eschenbach
Prozesskühlwasser (PCW), Chemikalienver- und -entsorgung, Technische Gase, Installation der Druckluftstation mit Verteilsystem
IMEC Leuven, Belgien
Installation und Verrohrung einer Reinstwasseranlage, Druckluft und Prozessabluft (PFO)
NPO Integral Minsk, Weißrussland
Installation und Verrohrung einer Lüftungsanlage