Infineon Technologies Dresden GmbH |
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Installation der Grundversorgung und Hook-up für Hausvakuum (HVAC), Prozessabwasser (PAW), Deionisiertes Wasser (DIW), Chemische Dosierung und Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP), Prozesszu- und -fortluft (PFO) |
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Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)- Center Nanoelectronic Technologies (CNT) |
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Installation der Grundversorgung und Hook-up für Prozesszu- und -fortluft (PFO), Prozessabwasser (PAW) und Deionisiertes Wasser (DIW) |
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) - All Silicon System Integration Dresden (ASSID) |
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Hook-up für Prozesszu- und -fortluft (PFO), Reinstwasser (UPW), Prozessabwasser (PAW), Prozesskühlwasser (PKW), Deionisiertes Wasser (DIW) und Vakuum (VAC) |
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Jenoptik AG Dresden |
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Installation Abluft (PFO) |
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GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG – Annex |
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Erweiterungen der Gewerke Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW) und Exhaust (PFO)
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Mikroelektronikwerk AMD Saxony Dresden |
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Installation der Grundversorgung und Hook-up für Prozesskühlwasser (PCW) und Prozessabwasser (PAW) |
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Mikroelektronikwerk AMTC GmbH & Co. KG Dresden |
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Installation der Grundversorgung für Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW), Prozessvakuum (PVAC) und Prozessfortluft (PFO)
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X-FAB Dresden GmbH & Co. KG |
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Installation der Grundversorgung und Hook-up für Deionisiertes Wasser (DIW), Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW) und Prozessfortluft (PFO) |
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Freiberger Compound Materials GmbH |
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Deionisiertes Wasser (DIW) und Chemische Dosierung (Planung und Errichtung einer Chemikaliendosierstation) |
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Swissbit Germany AG Berlin
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Installation VE-Wassersystem |
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Wacker Siltronic AG Freiberg |
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Installation einer Staubsauganlage mit Anschluss an die Doppelbodenabsaugung der Maschinenräume |
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Zentrum für Mikrosysteme und Materialien Berlin |
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Prozessabwasser (PAW) und Reinstgas |
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Curamik Electronics GmbH Eschenbach |
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Prozesskühlwasser (PCW), Chemikalienver- und -entsorgung, Technische Gase, Installation der Druckluftstation mit Verteilsystem |
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IMEC Leuven, Belgien |
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Installation und Verrohrung einer Reinstwasseranlage, Druckluft und Prozessabluft (PFO)
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NPO Integral Minsk, Weißrussland |
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Installation und Verrohrung einer Lüftungsanlage |
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